烤膠機(jī)（英文名：Hot Plate）又名烘膠臺，烤膠臺，加熱平臺，烤膠板，熱臺，熱板等用途可在光刻工藝中的涂膠后的軟烘，暴光后烘，顯影后的堅膜，磨片粘片熔臘等，它采用整體鑄造，加熱板作為加熱體，增強(qiáng)了設(shè)備的安全性。采用單片機(jī)作為控制核心部件，有*精準(zhǔn)的控溫精度，緊湊美觀。該設(shè)備對一些溫度敏感材料（如晶體、半導(dǎo)體、陶瓷等）進(jìn)行加熱和裝卡尤為適用。該設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，安全可靠，是從事半導(dǎo)體熱處理、材料研究生產(chǎn)、溫度干燥試驗等*的工具。

 產(chǎn)品特點：

加熱面積大，加熱均勻，升溫快；

采用微處理芯片控制溫度，持續(xù)加熱，抗電磁干擾；

特殊防腐材料，耐腐蝕，使用壽命長；

設(shè)計美觀大方；

 技術(shù)參數(shù)：

溫度控制：溫度從50–230℃；

程序控制：可編程存儲10個程序；

溫度均勻性：+/- 1.0℃；

加熱面積：220 x 220毫米，適用于1 x 8英寸晶圓；

•可選的真空烘烤

•可選的接近銷

•可選的起重銷

•多可選20個程序

加熱板材料：陽極氧化鋁；

帶有聲音的倒數(shù)計時器（1–999秒）；

CE認(rèn)證；

報警；

•可選的真空烘烤

•可選的接近銷

•可選的起重銷

•多可選20個程序

應(yīng)用：

固化光刻膠，前烘，堅膜等

固化環(huán)氧塑脂

其它需要高精度控溫的場合