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手動探針臺 P300J電動手動探針臺：電動手動探針臺，300mm，-55到300℃ P300A半自動探針臺：專為低電流、亞微米定位應(yīng)用而設(shè)計，300mm，-55到300℃

電動手動探針臺 P300J電動手動探針臺：電動手動探針臺，300mm，-55到300℃ P300A半自動探針臺：專為低電流、亞微米定位應(yīng)用而設(shè)計，300mm，-55到300℃

P200L半自動探針臺：半自動探針臺，200mm，-65到400℃， P300L半自動探針臺：半自動探針臺，300mm，-55到300℃

2210-LS 通用探針臺：通用型探針臺，室溫可達24寸，高溫或低溫可達18英寸，300mm以下晶圓，溫度-400到125℃

SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動探針臺，設(shè)計靈活且易于使用。這些手動探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達200mm的晶圓功能，DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項，我們的探針臺可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測試，IV / CV測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。

隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用MicroXact的半自動探針臺進行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù)，以識別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級可靠性測試之后可以進行進一步的和廣泛的故障分析。 系統(tǒng)構(gòu)建在一個重型，通用的平臺上，能夠配置為處理各種探測應(yīng)用。